低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：（1）需花费较高成本的反应溶液及去离子水；（2）化学药品处理时人员所遭遇的安全问题；（3）光阻附着性问题；（4）气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；（5）废气及潜在的爆炸性。

湿式蚀刻过程可分为三个步骤：（1）化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；（2）蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；（3）反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出（4）。三个步骤中进行最慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。